Halkayên Morkirina Grafîtê yên Îzostatîk ên Paqijiya Bilind

Halkayên Morkirina Grafîtê yên Îzostatîk ên Paqijiya Bilind ên ji Semixlabê ji grafîta îzostatîk a pêçayî ya paqijiya ultra bilind têne çêkirin, ev halkayên mohrkirinê performansek mohrkirinê ya stabîl û kêm-qirêjbûnê peyda dikin ku rasterast pêbaweriya pêvajoyê, domdariya berdêlê, û dema xebitandina alavan li seranserê pêvajoyên çêkirina waferên pêşiyê yên pêşkeftî piştgirî dike.

Di sîstemên epitaksî de, ku kontrola rast a herikîna gazê, aramiya zextê û yekrengiya germî girîng e, Halkayên Morkirina Grafîtê yên Îzostatîk ên Paqijiya Bilind ên Semixlab roleke girîng di parastina yekparçeyiya reaktorê de di germahiyên domdar de ku pir caran ji 1000 °C derbas dibin, dilîzin. Ev halkayên mohrkirinê, ku li ser rûberên odeyê, sînorên mohrkirinê, û gewriyên zivirî an sabît di nav herêma germ de hatine sazkirin, berfirehbûna germî ya nizm û îzotropîk nîşan didin, ku dihêle ew di dema çerxên germî yên dubare de aramiya pîvanî biparêzin. Naveroka wan a nepakiya metalî ya pir kêm xetera tevlêbûna dopantê ya neqesdî an gemarbûna metal kêm dike, dibe alîkar ku qalindahiya qata epitaksî ya yekreng, profîlên dopkirina kontrolkirî, û mezinbûna krîstalî ya kalîteya bilind di pêvajoyên epitaksî yên silîkon û nîvconductor ên tevlihev de misoger bike.

Di sepanên CVD, LPCVD, û PECVD de, pêkhateyên mohrkirinê li hember tevliheviyek ji germahiya bilind, valahiyê, gazên pêşeng ên korozîf, û di hin rewşan de jîngehên plazmayê rû bi rû dimînin. Halkayên Morkirina Grafîtê yên Îzostatîk ên Paqijiya Bilind ên Semixlab bi berfirehî di mohrên deriyê odeyê, avahiyên îzolekirina gazê, û deverên veguhêztinê di navbera herêmên germ û sar ên reaktorê de têne bikar anîn. Berxwedana kîmyewî ya hundurîn a grafîta paqijiya bilind di hebûna gazên pêvajoyê yên êrîşkar ên wekî HCl, NH₃, û pêşengên halojen-based de xebata stabîl gengaz dike, di heman demê de mîkroavahîya tîr û îzotropîk çêbûna perçeyan û hilweşîna mekanîkî di temenê karûbarê dirêj de kêm dike. Li gorî çareseriyên mohrkirina metalî, halkayên mohrkirina grafîtê berxwedanek bilindtir li hember korozyon û westandina germî pêşkêş dikin, ku beşdarî navberên lênêrînê yên dirêjtir û dubarekirina pêvajoyê ya çêtir di hilberîna bi qebareya bilind de dibin.

Belavbûna germahiya bilind, oksîdasyon, û pêvajoya germî ya bilez ji ber germahiyên zêde, rêjeyên rampkirina germî ya bilez, û çerxên pêvajoyê yên pir caran daxwazên dijwar li ser performansa mohrkirinê diafirînin. Di van hawîrdoran de, Halkayên Morkirina Grafîtê yên Îzostatîk ên Paqijiya Bilind ên Semixlab-ê di germahiyên ku ji 1100 °C derbas dibin de yekparebûna mohrkirinê ya domdar diparêzin, û kontrola atmosferîk a stabîl di nav lûleyên firnê û odeyên RTP de piştgirî dikin. Taybetmendiyên mekanîkî yên yekreng ên ku ji hêla pêlkirina îzostatîk ve têne peyda kirin dibin alîkar ku di dema germkirin û sarkirina bilez de pêşî li kombûna stresê ya herêmî, mîkro-şikestin, û xirabûna mohrê bigirin, bi vî rengî beşdarî profîlên belavbûna dopantê ya stabîl, mezinbûna oksîdê ya yekreng, û encamên pêvajoya germî ya dubarekirî dibe ku ji bo çêkirina cîhazên mantiqî û bîranînê yên pêşkeftî girîng in.

Di pêvajoya Etch de, tevî sepanên gravkirina hişk ên ku kîmyewiyên halojen-based û jîngehên bi alîkariya plazmayê bikar tînin, ji bo parastina yekparebûna valahiyê di heman demê de ku çêbûna perçeyan û hilweşîna kîmyewî sînordar dikin, zengilên mohrkirinê hewce ne. Zengilên Morkirina Grafîtê yên Îzostatîk ên Paqijiya Bilind ên Semixlab bi gelemperî li herêmên rûbirûbûna plazmayê yên ne-rasterast, wekî navberên mohrkirinê yên derdora odeyê û herêmên îzolekirina avahîsaziyê têne bikar anîn. Dema ku bi dendika rûyê guncaw an pêçanên parastinê re têne hev kirin, ev zengilên mohrkirinê berxwedanek pêbawer li hember gazên gravkirinê yên korozîf û stresa germî peyda dikin, şert û mercên odeyê yên stabîl piştgirî dikin û xetera windabûna berhemê ya têkildarî qirêjbûnê kêm dikin.

Bi balkişandina ser paqijiya materyalan, aramiya avahîsaziyê û pêbaweriya demdirêj hatiye endezyar kirin, lihevhatina Halkayên Morkirina Grafîtê yên Îzostatîk ên Paqijiya Bilind a Semixlabê bi teknolojiyên pêçandina pêşkeftî û entegrasyona wan di nav mîmariyên alavên nîvconductor ên tevlihev de wan dike çareseriyek pêbawer ji bo girêkên pêvajoyê yên pêşeng û gihîştî. Bi pêşkêşkirina performansa mohrkirinê ya domdar di bin şert û mercên pêvajoyê yên herî dijwar de, Semixlab piştgirî dide hilberînerên nîvconductoran da ku bi dest bixin berhema bilindtir, karanîna alavan a çêtir û lêçûna giştî ya kêmtir. Em bi dilgermî li hêviya wê ne ku bibin hevkarê we yê demdirêj li Çînê.