Qeyikên Grafîtê yên PECVD-ya Paqijiya Bilind

Pêşveçûna Product

Qeyikên grafîtê yên PECVD bi berfirehî di xetên çêkirina pîlên rojê de têne bikar anîn ku tê de waferên silîkonê hewce ne ku dubare bi pêvajoyên pêçandina plazmayê û pasîfîzasyonê re derbas bibin. Ji ber ku hilgirê grafîtê di dema barkirin, veguhastin û danînê de rasterast bi waferan re têkilî datîne, aramiya wê bandorek mezin li ser kontrola qirêjbûnê û pêbaweriya otomasyonê dike.

Qeyikên grafîtê yên Semixlab ji materyalên grafîtê yên paqijkirî yên bi rêjeya xweliyê kêm û belavbûna densiteya stabîl têne hilberandin. Avahiya wan li dora şert û mercên xebitandinê yên pratîkî yên ku di xetên hilberîna domdar de têne dîtin, nemaze li cihên ku guherînên germahiyê yên bilez û destwerdana robotîk a frekanseke bilind gelemperî ne, hatiye sêwirandin.

Di karanîna rastîn de, gelek kargeh ne tenê bala xwe didin paqijiyê, lê di heman demê de piştî çerxên hilberînê yên dirêj bala xwe didin deformasyonê jî. Hilgirek ku pir zû ditewe an şeklê xwe diguherîne dikare bi hêsanî bibe sedema pirsgirêkên veguhastinê, xêzkirina waferê, an pozîsyonên barkirinê yên nearam. Ji bo kêmkirina van xetereyan, qeyikên grafît bi taybetmendiyên berfirehbûna germî ya nisbeten kêm û lihevhatina mekanîkî ya çêtirkirî têne sêwirandin.

Li gorî hewcedariyên alavên xerîdar, mezinahiyên wafer û mîhengên otomasyonê yên cûda jî dikarin werin piştgirî kirin. Berhem bi gelemperî ji bo jîngehên hilberînê yên TOPCon, HJT, PERC, û PECVD yên têkildar tê bikar anîn.

Key Features

Materyalê grafîtê yê safîkirî bi naveroka xweliyê li jêr 20 ppm.

Di bin çerxên germkirin û sarkirinê yên dubare de avahiyek stabîl.

Berfirehbûna germî ya kêmtir li gorî hilgirên grafît ên kevneşopî.

Ji bo pergalên barkirina waferê yên otomatîk minasib e.

Di dema operasyona pêvajoya plazmayê ya demdirêj de deformasyonê kêm dike.

Lihevhatî bi platformên hilberîna wafer M10 û M12 re.

Struktura hêlîna makînekirî dibe alîkar ku aramiya veguhastinê baştir bibe.

Ji bo pîvanên xwerû û mesafeya pitch peyda dibe.

Têbînîyên Hilberîn û Materyalan

Materyalên grafîtê yên ku ji bo van pergalên hilgir têne bikar anîn dikarin li gorî şert û mercên pêvajoya xerîdar û çerxa karûbarê ya hêvîkirî werin hilbijartin. Li gorî jîngeha serîlêdanê, her du jî dikarin celebên grafîtê yên hawirdekirî an jî materyalên paqijkirî yên navxweyî werin hesibandin.

Semixlab her wiha li ser bingeha platformên otomasyonê yên cûda, di nav de mesafeya hêlînê, avahiya rêber, arasteya barkirinê û veavakirina komkirinê, sererastkirina makîneyê piştgirî dike. Berî hilberîna girseyî, verastkirina pîvanî û nirxandina pêvajoyê bi gelemperî li gorî nexşeyên xerîdar an hewcedariyên nimûneyê têne kirin.

Taybetiyên teknîkî