Grafîta Hişk Felt

Felta Grafîtê ya Hişk a Semixlab (RGF) wekî pêkhateyeke îzolasyon û rêveberiya germî ya krîtîk a germahiya bilind ji bo mezinbûna Veguhestina Buxara Fizîkî (PVT) ya krîstalên yekane yên SiC hatiye çêkirin. Ev felta hişk, ku ji bo karanîna di hilberîna waferên 4H- û 6H-SiC yên nifşê din de hatiye sêwirandin, konduktîvîteya germî ya pir nizm, yekparebûna avahîsaziyê ya bilind, û paqijiya kîmyewî ya bêhempa bi hev re dike yek, û ew dike materyalek bingehîn di firneyên sublimasyonê yên SiC yên performansa bilind de. Bikaranîna wê kontrolkirina rast a gradyantên germî, şert û mercên mezinbûna stabîl, û kalîteya krîstalê ya baştirkirî di seranserê çerxên hilberîna demdirêj de misoger dike.

Di pêvajoya SiC PVT de, parastina qadeke germî ya domdar û yekreng ji bo bidestxistina krîstalên yekane yên bê kêmasî pir girîng e. Graphite Rigid Felt wekî îzolasyona sereke ya firnê kar dike, ku avahiyên xaçerêya sublimasyonê û qada germî dorpêç dike. Konduktîvîteya wê ya germî ya kêm windabûna germê ya nexwestî kêm dike, gradyana germahiya hedef di navbera çavkaniya SiC û krîstala tov de diparêze. Bi kontrolkirina profîlên germahiya radyal û eksenî, RGF pêkhatina dislokasyonên plana bingehîn, xeletiyên stûkirinê, û mîkroboriyan kêm dike, ku rasterast bandorê li yekparçeyiya avahî û performansa elektronîkî ya waferên SiC yên encam dike.

Ji bilî şiyanên xwe yên îzolasyona germî, avahiya hişk a felta grafîtê ya Semixlab di hawîrdorên germahiya bilind ên ku ji 2000°C derbas dibin de aramiya mekanîkî peyda dike. Berevajî feltên nerm an nerm, RGF di bin çerxên germî yên dirêj de şeklê xwe diparêze, rê li ber hilweşîn an deformasyonê digire ku dikare zeviya germî têk bibe an jî temenê firnê bixe xeterê. Bêçalakiya wê ya kîmyewî berdana perçeyên herî kêm misoger dike û ji qirêjbûna bouleya SiC dûr dikeve, ku ji bo hilberîna substratên berxwedana bilind ji bo elektronîkên hêzê û sepanên cîhazên bandgap fireh girîng e.

Semixlab Graphite Rigid Felt, ku bi karanîna karbona grafîtîk a paqijiya bilind û teknîkên densifiasyonê yên pêşkeftî hatiye çêkirin, densitiya yekreng, aramiya pîvanî ya hêja, û domdariya demdirêj nîşan dide. Têkeliya performansa germî û hişkbûna mekanîkî dihêle ku fabrîkeyên nîvconductor rêjeyên mezinbûnê yên domdar, profîlên germahiyê yên dubarekirî, û dema bêkarbûnê ya kêmkirî di pergalên PVT de bi dest bixin. Bi baştirkirina karîgeriya germî ya firnê, RGF di heman demê de beşdarî teserûfa enerjiyê dibe di heman demê de yekrengî û hilberîna waferê zêde dike.

Felta Grafîta Hişk a Semixlabê performans, paqijî û aramiya avahîsaziyê ya ku ji bo piştgiriya mezinbûna krîstala yekane ya SiC-ya bi kalîte bilind hewce ye pêşkêş dike, û ji hilberîneran re çareseriyek materyalê ya bihêz ji bo hilberîna waferê ya nifşê pêşerojê, temenê dirêjkirî yê firnê, û rêveberiya germî ya bilind di hawîrdorên germahiya pir bilind de peyda dike.