0200-10246 Quartz GDP (Plaqeya Belavkirina Gazê)

GDP (Plaqeya Belavkirina Gazê) ya Quartz a AMAT 0200-10246 pêkhateyeke quartz a helandî ya rastbûna bilind e ku ji bo belavkirina gazê ya yekreng û têkiliya plazmaya kontrolkirî di alavên pêvajoya nîvconductor de hatiye sêwirandin. Bi gelemperî wekî astarek Uni-Insert bi şêweyek 88-qulî tê mîheng kirin, ew wekî navgînek krîtîk di navbera pergalên radestkirina gaza pêvajoyê û herêma reaksiyona plazmayê de tevdigere.

Ev pêkhate ji bo serîlêdanên gravkirina plazmaya pêşkeftî û CVD-ê hatiye çêkirin, di bin şert û mercên dijwar de dixebite, di nav de:

● Tesbîtkirina plazmaya enerjiya bilind

● Gazên pêvajoyê yên reaktîf (mînak, kîmyewiyên li ser bingeha flor û klorê)

● Jîngehên çerxerêya germî ya bi leza bilind

● Pêdiviyên yekrengiya pêvajoyê yên hişk

Berevajî parçeyên parastina odeya pasîf, GDP-ya Quartz pêkhateyek krîtîk a pêvajoyê ye ku rasterast bandorê li yekrengiya herikîna gazê, belavkirina dendika plazmayê, û kontrola pîvana krîtîk (CD) dike.

Li Semixlab Technology, pêvekên GDP yên Quartz ên me bi karanîna quartz-a helandî ya paqijiya ultra bilind têne çêkirin, ku bi makîneya qulên rastîn û kontrola kalîteyê ya hişk re têne hev kirin, ku performansek domdar û dubarekirî di pêvajoyên nîvconductor ên daxwazkar de misoger dike.

Pozîsyon di Amûr û Rolên Fonksiyonel de

Positiona Sazkirinê

GDP ya Quartz bi gelemperî tê saz kirin:

● Li kombûna jorîn a odeya pêvajoyê

● Di hundir an jî di bin avahiya serşokê de

● Rasterast li jor rûyê waferê, ber bi herêma plazmayê ve

Ew wekî navbeynkariya sereke ji bo danasîna gazê nav herêma plazmayê tevdigere.

Fonksiyonên Core

1. Belavkirina Gazê ya Yekreng (Fonksiyona Sereke)

● Şêweya rastbûna 88-qulî misoger dike:

● Belavkirina wekhev a gazên pêvajoyê li seranserê waferê

● Rêjeya û rêça herikîna gazê ya kontrolkirî

Encam: Yekrengiya plazmayê ya zêdebûyî û rêjeyên gravkirin/çêkirinê yên domdar li seranserê waferê.

2. Kontrola Avabûna Plazmayê û Aramiyê

Bi rêkxistina ka gaz çawa dikevin herêma plazmayê, GDP:

● Bandorê li ser pêxistin û domdariya plazmayê dike

● Belavkirina dendika plazmayê şekil dide

Tesîr: Seqamgîriya pêvajoyê baştir bûye û guherîna di navbera waferan de kêm bûye.

3. Yekrengiya Pêvajoyê û Kontrola CD-yê

Geometrî û sêwirana kunê rasterast bandorê li wan dike:

● Belavbûna îyon û radîkal

● Kînetîka reaksiyonê li ser rûyê waferê

Feyde: Profîla gravurkirinê ya çêtirîn, yekrengiya CD, û dubarekirina wafer-bi-waferê.

4. Parastina Odeya û Kontrolkirina Gemarîbûnê

Wekî lînkerek quartz, GDP jî:

● Parçeyên serşokê yên metalî ji bandora plazmayê diparêze

● Rîskên qirêjbûna metalî kêm dike

Modên Têkçûna Hevbeş

Ji ber têkiliya wê ya rasterast bi plazma û gazên reaktîf re, GDP ya Quartz rastî çend mekanîzmayên hilweşîna sînordarkirina performansê tê:

1. Girtina Kunan (Danîna Berhema Alî)

● Berhemên polîmer an reaksiyonê di hundirê qulan de kom dibin

● Herikîna gazê kêmkirî an neyeksan

Tesîr: Windakirina yekrengiya belavkirina gazê û bêîstîqrariya pêvajoyê.

2. Erozyona ji ber plazmayê

● Bombebarana îyonê diameterên qulan mezin dike

● Xurandina rûberê dînamîkên herikînê diguherîne

Tesîr: Guhertinên di belavbûna dendika plazmayê û drifta CD-yê de.

3. Perçebûn û Çêbûna Perçeyan

● Fîlmên razayî bi demê re diqelişin

● Perçe dikevin hawîrdora odeyê

Tesîr: Zêdebûna dendika kêmasiyan û windabûna berhemê.

4. Şikestina ji ber stresa germî

● Dubarekirina çerxên germî dibe sedema mîkro-şikestinê

● Yekparebûna avahîsaziyê bi demê re qels dibe

Bandor: Têkçûna pêkhateyan û dema rawestandina neçaverêkirî.

5. Herikîna Gazê

● Lihevhatina demdirêj geometrîya navxweyî diguherîne

● Guhertina gav bi gav di belavkirina herikîna gazê de

Tesîr: Gerandina pêvajoyê ya nazik lê krîtîk, teşhîskirina wê dijwar e.

Çima Teknolojiya Semixlab Hilbijêrin?

Bi ezmûneke berfireh di materyalên nîvconductor û çêkirina quartzê ya rastîn de, Semixlab Technology çareseriyên GDP yên Quartzê yên performansa bilind ên ku ji bo jîngehên plazmaya pêşkeftî hatine çêkirin pêşkêş dike:

● Quartz Paqijiya Ultra-Bilind: Pîsbûna kêm û têkiliya plazmayê ya stabîl misoger dike.

● Makînekirina Pir-Qunên Rastîn: Mezinahiya rast a qulan, mesafeya rast û geometrî ji bo belavkirina gazê ya çêtirîn.

● Optimîzasyona Rûyê: Çêbûna perçeyan kêm dike û paqijiya pêvajoyê zêde dike.

● Performansa Jiyana Dirêjkirî: Berxwedana baştirkirî li hember erozyona plazmayê û stresa germî.

● Sêwirana OEM-Lihevhatî: Entegrasyoneke bêqusûr bi sîstem û şert û mercên pêvajoyê yên AMAT re.

AMAT 0200-10246 Quartz GDP bi berfirehî di van de tê bikar anîn:

● Materyalên Bikaranînî Sîstemên gravkirina plazmaya 200mm

● Odeyên pêvajoyê yên CVD û PECVD

● Pêvajoyên çêkirina nîvconductorên yekrengiya bilind

Ew bi taybetî di serîlêdanên ku hewceyê kontrola pêvajoyê ya hişk in de girîng e, di nav de:

● Gravkirina girêkên pêşketî

● Çêkirina nîvconductorên hêzê (SiC, IGBT)

● MEMS û çêkirina cîhazên taybet