EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Serşokê semiconductor quartz
Quick Detail:
1. Navên din: Tanka quartzê ya nîvconductor, serşokê quartz ji bo semiconductor, tanka quartz ji bo semiconductor.
2.Application: Semiconductor Quartz Bath perçeyek paqijiya bilind, berxwedêr a korozyonê ye ku bi taybetî ji bo paqijkirina rast û hilberandina kîmyewî di çêkirina nîvconductor de hatî çêkirin. Ji bo lihevhatina bi pergala WS-620C/ WS-820C/ WS-820L ve hatî sêwirandin, ev serşokê quartz di bin şert û mercên germahiya bilind de (heta 175°C) kar dike û ji bo karanîna bi çareseriyên asîda fosforîk (HXNUMXPOXNUMX) re xweşbîn e, di pêvajoyên krîtîk ên wafer-ê de performansa awarte peyda dike.
3. Parametreyên bingehîn:
Kûartza fused (> 99.99% SiOXNUMX).
Di germahiyên bilind de bêhêziya kîmyewî ya awarte ji H3PO4 (asîda fosforîk) re, pêşî li hilweşandin an hilberîna perçeyan digire.
Li 160°C û germahiya lûtkeya 175°C li hember xebata domdar radiweste, yekitiya avahî û aramiya pîvanê diparêze.
Terîf
Semiconductor Quartz Bath parçeyek paqijiya bilind, berxwedêr a korozyonê ye ku bi taybetî ji bo paqijkirina rast û hilberandina kîmyewî di çêkirina nîvconductor de hatî çêkirin. Ji bo lihevhatina bi pergala WS-620C/ WS-820C/ WS-820L ve hatî sêwirandin, ev serşokê quartz di bin şert û mercên germahiya bilind de (heta 175°C) kar dike û ji bo karanîna bi çareseriyên asîda fosforîk (HXNUMXPOXNUMX) re xweşbîn e, di pêvajoyên krîtîk ên wafer-ê de performansa awarte peyda dike.
Key Features
Serdestiya materyalê
Quartz-Paqijiya Bilind: Ji quartz a hevgirtî ya sentetîk (> 99.99% SiOXNUMX) hatî çêkirin, ku qirêjiya hindiktirîn û berxwedana li hember şoka termal misoger dike.
Berxwedana Acid
Di germahiyên bilind de bêhêziya kîmyewî ya awarte ji H3PO4 (asîda fosforîk) re, pêşî li hilweşandin an hilberîna perçeyan digire.
Abilitystîqrara Germahî
Li 160°C û germahiya lûtkeya 180°C li hember xebata domdar radiweste, yekitiya avahî û aramiya pîvanê diparêze.
Feydeyên Performansê
Kontrolkirina pîsbûnê: Pêvajoya rûkala pir-heval adhejena parçikê kêm dike, ji bo pêvajoyên girêka nîv-conduktorê binî-mîkron girîng e.
Dirêjbûn: Berxwedana Quartz a li hember korozyona asîdê û westandina termal jiyana karûbarê dirêj dike, dem û lêçûnên lêçûnê kêm dike.
Pêvajoya Pêvajoyê: Germbûna germî ya domdar dabeşkirina germahiya yekgirtî peyda dike, karbidestiya paqijkirinê û dubarebûnê zêde dike.
Çima Semixlab's Semiconductor Quartz Bath hilbijêrin?
Qalîteya Semiconductor-Grade: Li hawîrdorek paqijî tête hilberandin ku standardên SEMI-ê bicîh bîne.
Çareseriyên Tailored: Sêwiranên xwerû yên ku li gorî daxwazên pêvajoyê yên taybetî peyda dibin.
Pêbawer: Testkirina kalîteya hişk bi daxwazên pîşesaziya nîvconductor re peyda dike.
Specifications
| Taybetmendiya mekanîkî | Density (g/cm3) | 2.2 |
| Mohs hişkbûn | 6-7 | |
| Hêza zextê (MPa) | 1100 | |
| Hêza tîrêjê (N/mm2) | 50 | |
| Hêza herikandinê (N/mm2) | 65 | |
| Hêza ziravî (N/mm2) | 30 | |
| Modula Ciwan (MPa) | 7.2x104 | |
| Rêjeya Poisson | 0.16 | |
| Taybetmendiyên germî | Rêjeya berfirehbûna germî (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| Germbûna germê (20℃,W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Germahiya taybetî (20℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| Xala nermbûnê (℃) | 1700 | |
| Xala lêdanê (℃) | 1180 | |
| Xala zirav (℃) | 1080 | |
| milkê elektrîkê | Berxwedana elektrîkê (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Dielektrîk domdar (10 GHz) | 3.74 | |
| windabûna dielektrîkê (10 GHz) | 0.0002 | |
| Hêza dielektrîkê (V·m-1) | 3.7x107 |
Applications
Paqijkirina Wafer: Rakirina wênekêş, bermayiyan, û gemaran di çareseriyên li ser bingeha H3PO4-ê de piştî xêzkirin an lîtografiyê.
Pêvajoyên Germahiya Bilind: Ji bo gavên pêşkeftî yên çêkirina nîvconduktorê ku di germahiyên bilind de kîmyewîyên êrîşkar hewce ne.
Lihevhatî: Ji bo pergala WS-620C / WS-820C / WS-820L di fabrîkên ku mantiq, bîranîn, an amûrên hêzê hilberînin de îdeal e.
