EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Bafleya Herikîna Quartz a Nîvconductor
Baffleya Herikîna Quartz a Semixlab Semiconductor pêkhateyek bi endezyariya rast e ku ji bo rêkxistin û homojenîzekirina herikîna gazê di hundurê firneyên CVD, LPCVD, PECVD, belavbûn û oksîdasyonê de hatiye çêkirin. Ji kuartza helandî ya paqijiya ultra bilind (SiO₂, ≥99.99%) hatiye çêkirin, ew germahî û belavkirina gazê ya stabîl di dema pêvajoya waferê de misoger dike, bi bandor neyekrengiya fîlmê, qirêjbûna perçeyan û zêde-depozîsyona herêmî kêm dike. Şefafiyeta wê ya optîkî ya bilind, berxwedana wê ya germî ya awarte û xwezaya wê ya bê qirêjî wê dike pêkhateyek neçar di alavên epitaksî yên nîvconductor û SiC/GaN yên pêşkeftî de.
Terîf
1. Taybetmendiyên Materyal û Rûyê
● Materyal: Silîkaya helandî ya paqijiya bilind (kuarza sentetîk an xwezayî, paqijî ≥%99.99).
● Berxwedana Germahîyê: Performansa sabît di germahiyên berdewam de heta 1200°C.
● Dawîya Rûyê: Rûyên pir nerm û bi rastî hatine cilkirin da ku pêşî li zeliqandina perçeyan bigirin.
● Berfirehbûna Germahî: Koefîsyenta nizm a berfirehbûnê (5.5×10⁻⁷/°C) aramiya pîvanan misoger dike.
● Berxwedana Kîmyewî: Li hember gazên korozîf ên wekî HCl, NH₃, û SiH₄ bêbandor e.
Her deflekeke herikînê ji bo kalîteya rûberê, rastbûna pîvanan, û kontrola bilbilên navxweyî kontroleke hişk derbas dike, ku di her koma hilberînê de paqijî û pêbaweriya domdar misoger dike.
1. Fonksiyonên Sereke di Pêvajoyên Nîvconductor de
Bafleya Herikîna Quartz wekî pêkhateyeke kontrolkirina herikîna bingehîn û rêkxistina germî di hundirê odeyên hilberandina nîvconductor ên germahiya bilind de kar dike. Fonksiyona wê ji tenê rêvebirina gazan wêdetir diçe - ew roleke pirfonksiyonel di îstîqrarkirina jîngeha pêvajoyê, baştirkirina karanîna materyalan û misogerkirina yekrengiya wafer-bi-wafer de dilîze.
1. Belavkirina Herikîna Gazê ya Yekreng
Di pêvajoyên wekî LPCVD, PECVD, û epitaksiyê de, radestkirina gazê ya yekreng ji bo bidestxistina mezinbûna fîlma zirav a domdar û belavkirina dopantê pir girîng e. Geometrîya bi baldarî hatî çêkirin a baffleya herikîna quartz - tevî kanalên herikîna goşeyî, xêzkirina beralîker, û mesafeya çêtirînkirî - piştrast dike ku gazên reaktîf bi rengek wekhev li seranserê rûyê waferê belav dibin. Bi parastina şêweyek herikîna lamînar, baffleya herikînê piştrast dike ku her wafer di nav komekê de şert û mercên rûbirûbûna gazê yên wekhev tecrûbe dike, bi vî rengî aramiya berdêl û yekrengiya cîhazê zêde dike.
2. Stabîlkirina Qada Termal û Balansa Veguhestina Germê
Di pêvajoyên germahiya bilind de wekî oksîdasyona germî an mezinbûna epitaksiyal a Si, tewra guherînên piçûk di belavbûna germahiyê de jî dikarin bibin sedema kêmasiyên krîstal, jihevketin, an stresa fîlimê.
Defleya herikîna quartz wekî moderatorek germî tevdigere:
● Germahiya di navbera navend û qiraxa qeyika waferê de nerm dike
● Nehevsengiya germahiya tîrêjê di hundirê firnê de kêm dike
● Di dema çerxên bilindbûn û daketina germahiyê de şokên germî kêm dike
3. Tepeserkirina Gemarîbûnê û Paqijiya Pêvajoyê
Di çêkirina nîvconductoran de, kontrolkirina qirêjbûnê pir girîng e. Gurbûna metalî an jî perçeyî dikare hilberîna cîhazê bi giranî kêm bike. Baffleya Herikîna Quartz, ku ji silîkaya helandî ya sentetîk a paqijiya pir bilind (SiO₂ ≥ 99.99%) hatiye çêkirin, ti îyonên metalî an jî bermayiyên karbonê naxe nav odeya pêvajoyê. Rûyê wê yê nerm û ne-por pêşî li kombûna berhemên reaksiyonê û rijandina perçeyan digire. Ev ji bo pêvajoyên krîtîk ên wekî çêbûna oksîda derî, dopkirina belavbûnê, û depoya dîelektrîk a CVD, îstîqrara asta odeya paqij peyda dike.
Semixlab Quartz Flow Baffle ne tenê pêkhateyeke pasîf e - ew hêsantirkerek girîng e ji bo aramiya pêvajoyê, yekrengiya gazê û baştirkirina berdêlê. Bi saya sêwirana dînamîkên herikîna pêşkeftî, hevsengiya germî û pêkhateya materyalê ya pir paqij, ew piştrast dike ku her wafer hawîrdorek pêvajoyek bi rêkûpêk kontrolkirî werdigire - ji bo çêkirina cîhazên nîvconductor ên nifşê pêşerojê girîng e.
Xizmetên me
Dikana Berhemên Semixlab
