EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Lûleya Firna Belavkirina Silicon Carbide
Lûleya Firna Belavkirina Silicon Carbide pêkhateyeke pêvajoya germî ya girîng e ku ji bo oksîdasyona nîvconductor a germahiya bilind, belavbûn, germkirin û sepanên çêkirina wafer ên têkildar hatiye sêwirandin. Ji materyalên silicon carbide (SiC) yên paqijiya bilind hatine çêkirin, ev lûleyên firnê aramiya germî ya awarte, berxwedana kîmyewî û domdariya mekanîkî peyda dikin, ku dihêle hilberînerên nîvconductor performansa pêvajoyê ya domdar di hawîrdorên germahiya bilind ên daxwazkar de bi dest bixin. Semixlab Lûleyên Firna Belavkirina Silicon Carbide yên bi kalîte bilind peyda dike ku ji bo sepanên pêvajoya germî ya nîvconductor ên pêşkeftî hatine çêkirin, piştgirî dide pêşdebirên teknolojiyê, hilberînerên alavan û tesîsên hilberîna nîvconductor li çaraliyê cîhanê.
Terîf
Di firneyên belavbûna nîvconductor de, lûleya firnê wekî odeya reaksiyonê ya sereke kar dike ku tê de wafer li ber şert û mercên germî yên kontrolkirî û gazên pêvajoyê têne danîn. Kalîte û aramiya lûleya firnê rasterast bandorê li yekrengiya germahiyê, belavkirina gazê, kontrola qirêjbûnê, û dubarekirina giştî ya pêvajoyê dike. Bi taybetmendiyên xwe yên materyalê yên bilind, lûleya firna belavbûna SiC alîkariya fabrîkeyên nîvconductor dike ku pêvajoyên oksîdasyon û belavbûna pêbawer biparêzin di heman demê de temenê alavan baştir dikin û hewcedariyên lênêrînê kêm dikin.
Lûleya Firna Belavkirinê ya Silicon Carbide çi ye?
Lûleya Firna Belavkirinê ya Silîkon Karbîd lûleyeke pêvajoyê ya germahiya bilind e ku ji seramîkên silîkon karbîd tê çêkirin û di nav sîstemên firna belavbûna nîvconductor de tê bikar anîn. Ew ji bo pêvajoya waferê hawîrdorek kontrolkirî diafirîne, û di bin atmosferên pêvajoyê yên cûrbecûr de, di nav de oksîjen, nîtrojen, hîdrojen, buhar û gazên ku dopant dihewînin, dermankirina germî ya rast dihêle.
Li gorî lûleyên firna quartzê yên kevneşopî, lûleyên firna SiC di bin şert û mercên germî yên dijwar de performansek çêtir pêşkêş dikin ji ber van sedeman:
● Gehîneriya germî ya bilind
● Aramiya germahiyê ya hêja
● Hêza mekanîkî ya bilindtir
● Berxwedana oksîdasyonê ya berbiçav
● Rêjeya berfirehbûna termal kêm
● Berxwedana bilind a li hember korozyona kîmyewî
Ev taybetmendî karbîda silîkonê dikin materyalek îdeal ji bo alavên hilberandina germî yên nîvconductor li wir pêbaweriya demdirêj û domdariya pêvajoyê girîng in.
Applications
Lûleyên Firna Belavkirinê ya Silicon Carbide bi berfirehî di pêvajoyên çêkirina nîvconductor de têne bikar anîn, di nav de:
● Oksîdasyona Germahî
● Belavkirina Dopantê
● Germkirina Germahiya Bilind
● Nîtrîdasyon
● Çêkirina Nîvconductorên Hêzê
● Pêvajoya Amûrên SiC û GaN
Şîyana wan a parastina şert û mercên germî û kîmyewî yên sabît wan dike pêkhateyek neçar di alavên hilberandina germî yên nîvconductor ên pêşkeftî de.
Xizmetên me
Dikana Berhemên Semixlab
