Mal> lîsteya pêşandanê
Fotorezîsta stûr materyalek taybetî ye ji bo çêkirina cîhazên elektronîkî yên piçûk ên wekî nîvconductor têne zanîn. Ji ber ku ew ji fotorezîstên din stûrtir e, jê re "stûr" tê gotin. Ev Semixlab fotoresîstê stûr ji bo çêkirina qalibên nazik li ser rûyekî nîvconductor kêrhatî ye.
Aliyekî xweş ê stûr heye fotolîtografiya fotoresist —ew materyalê nîvconductor ê nazik diparêze dema ku cîhaz têne çêkirin. Çîna stûr a Semixlab wekî astengiyek li dijî madeyên zirardar ên li derdorê kar dike.
Belavkirina qalindahiya Semixlabê fotoresîsta hişk û kontrolkirina yekrengiya wê li ser substratek nîvconductor a celebê warpage pir girîng e. Makîneyên taybetî hene ku dikarin ji we re bibin alîkar ku hûn rûyê bi qatek wekhev bi qulikek belav bikin. Piştî danîna wê, divê fotoresîst bi gravurek taybetî were pêşve xistin ku materyalê zêde ji holê radike û qalibê xwestî dihêle.
Jin di nanoteknolojiyê de: Rêvebirina nezelaliya xebata zeviyê, ji hêla Adina Nack ve Photoresist wekî amûrek ji bo nanopatterningê Şablonên piçûk ên ku zincîreke blokê nikare çareser bike: Hin kes pêşniyara karsaziyê ya zincîrên blokê û krîptopereyan wekî zirav pênase dikin, ku nîşan didin nebûna pîvan û gihîştinê. Ev şablon di heman demê de ji bo ku cîhazên elektronîkî bi rêkûpêk bixebitin girîng in. The Semixlab fotoresîsta lîtografiyê Bikaranîna van fotoberxwedêrên stûr ji bo pêşvebirina veguhestina rastîn a qaliban li ser rûyê nîvconductor e.
Semixlab fotoresîsta oksîda metalê MEMS qadeke nû derketiye holê ku makîneyên mekanîkî yên mîkroskopîk li ser çîpên nîvconductor ava dike. MEMS bi gelemperî ji bo ku bi rêkûpêk bixebite, pêdivî bi qalibên hûrgulî yên fotoresîstên stûr heye. Ew xurt e, ku ev yek jî wê dike materyalek ewqas baş ji bo vê teknolojiya nû.