Firna pêçandina germ a valahiyê ji bo girêdana tovê krîstala SiC

Girêdana krîstala tov yek ji pêvajoyên girîng e ku bandorê li mezinbûna krîstalan dike. Li ser bingeha taybetmendiyên girêdana krîstala tov, Semixlab alavên taybetî yên presa germ a valahiyê ji bo girêdana krîstala tov pêşxistiye. Ev amûr bi bandor kêmasiyên cûrbecûr ên ku di dema pêvajoya girêdanê de çêdibin kêm dike, bi vî rengî hilberîna girêdana krîstala tov û kalîteya dawîn a krîstalan baştir dike.

1. Danasîna Amûrên Presa Germ a Vakumê ya Girêdana Krîstala Tov

1. Ji bo girêdana krîstala tovê berî mezinbûna krîstala SiC tê bikar anîn;

٢. Toxmên girêdayî di germahiya ٢٣٠٠°C de bêyî veqetandinê girêdanê diparêzin, û girêdana bê bilbil a %٠٠ bi rûberên wafer ên paqij û bê qirêjî pêk tînin;

3. Tepsiya germkirinê germkirina berxwedanê ya bi celebê dîskê bikar tîne, belavkirina germahiyê ya yekreng, xebitandina ewle, û karanîna bikarhêner-dostane misoger dike;

4. Sensorên zextê yên ku di bin tepsiyê de hatine bicihkirin, zexta ku li ser perçeya kar tê sepandin bi awayekî rast nîşan didin.

II. Pêşdîtina Fonksiyonel a Amûrên Presa Germ a Valahiya Krîstala Tov

Firna Pêçandina Germ a Valûmê ya Krîstala Tovê Semixlab ji bo pêçandina germ a bi alîkariya valahiyê ya krîstalên tovê silicon carbide hatiye çêkirin.

1. Odeya metalî ya duqatî ya bi avê sarbûyî germahiya rûyê firnê bi bandor kêm dike, xetereyên germahiya bilind kêm dike, û bandora li ser jîngehê kêm dike;

2. Bi kontrola otomatîkî dikare zextê bi awayekî otomatîkî were sepandin û ragirtin, barkirineke gav bi gav, û cihguherandinê pêk bîne;

3. Mîhengên pergalên valahiyê yên cihêreng rê didin hilbijartina astên valahiyê yên cûda li gorî hewcedariyên pêvajoyê;

4. Belavkirina zexta yekreng û rastbûna kontrola germahiya bilind;

5. Sepandina zextê mekanîzmayên pêlkirina mekanîkî yên rastîn ji bo radestkirina zexta rast û sabît bikar tîne, ku xebitandina ewle û lihevhatina jîngehê misoger dike;

6. Girêdana hevbeş a gerdûnî di navbera serê jorîn ê çapê û çîpa avêtinê de paralelîzma adapteyî di navbera serê jorîn û tepsiya jêrîn de di dema zextkirinê de garantî dike, û belavkirina zexta yekreng misoger dike;

7. Serê çapa jorîn sepandina zexta nermkirinê vedihewîne ji bo radestkirina hêzê ya nerm û nerm bêyî bandor, pêşî li şikestina perçeya kar digire;

8. Sensorên germahiyê di navrûya plakaya veguhestina germê de bi kontrolkera germahiyê re hatine entegrekirin, ku germahiya germkirinê ya rast û kontrola bernamekirî gengaz dike;

9. Hem palet û hem jî serê jorîn ê çapê amûrên îzolekirinê vedihewîne da ku windabûna germê kêm bike.

Performans û Taybetmendiyên Amûrên Preskirina Germ a Valahiya Krîstala Tovê Semixlab

1. Derxistina valahiyê ya gav bi gav bi rêjeya pompkirinê ya kontrolkirî;

2. Odeya mezin ji bo potansiyela nûvekirinê ya fireh;

3. Serê çapemeniyê ya stabîl bi operasyona otomatîkî;

4. Kontrola zêdekirin û berdana zextê bi meyldariya zextê ya otomatîk û rêkxistina reçeteyê;

5. Kontrola germahiyê ya rast bi çerxên germahî û zextê yên bernamekirî;

6. Parametreyên valahiyê, zext û germahiyê yên xwerûkirî ji bo pêvajoyên girêdanê yên cihêreng;

7. Girêdana qalind bi sifir bilbilan;

8. Rêjeya şikestinê ya pir kêm - bi rastî jî şikestinên ji ber cîhazê çênebûne;

9. Lihevhatin: Piştgirî dide waflên 6-12 înç;

10. Zexta herî zêde ber bi jêr: 1.6 T;

11. Valahiya herî dawî: 5 Pa (sar);

12. Yekrengiya germahiya platforma germkirinê: <±3℃, σ<4 (li 200℃);

13. Guherîna zextê: <0.5%.

Parametreyên firna pêçandina germ ji bo girêdana tovê