Seramîkên SiC

Seramîkên SiC di alavên nîvconductor de her ku diçe bêtir têne bikar anîn, bi taybetî ji ber ku ew di şert û mercên dijwartir de çêtir li ber xwe didin. Dema ku germahî bilind dibe an pêvajo êrîştir dibe, materyalên mîna quartz an silîkonê dikarin dest bi nîşandina sînoran bikin, û bi gelemperî SiC li vir tê. Di pêvajoyên firnê de wekî oksîdasyon an belavbûnê, perçeyên mîna qeyikên wafer an jî pîlên ji SiC hatine çêkirin meyla wan heye ku dirêjtir bimînin. Ew şeklê xwe diparêzin û pir gemarî naynin, tewra piştî xebitandinên dirêj jî. Mirov pir caran ji ber vê sedemê ji quartz diguherin, nemaze dema ku lênêrîn pir caran dibe.

Ji bo gravurkirinê, SiC pir caran tenê ji ber ku ew dirêjtir li hember plazmayê dimîne tê hilbijartin. Cûdahiya temenê li gorî perçeyên silîkonê di gelek sazkirinan de berbiçav e, her çend ew hîn jî bi pêvajoya rastîn ve girêdayî ye. Ew di heman demê de hinekî bi kontrola perçeyan re jî dibe alîkar, ku dema ku girêk piçûk dibin hesastir dibe. Her weha hûn ê bibînin ku SiC wekî reseptor di MOCVD an CVD de têne bikar anîn. Di wan rewşan de, ew kêmtir li ser "hêz" û bêtir li ser sabîtkirina tevgera germahiyê ye. Ji bilî vê, ew di perçeyên odeyê de wekî pêlav an serşokê, û carinan di desteserkirina pêkhateyan de jî xuya dike.